对话科创家|芯源微宗润福：彩云深处芯源微 引领本土涂胶显影设备腾飞《安安访谈录》是界面财联社执行总裁徐安安出品的一档深度访谈类栏目。从投资角度对话1000位行业领军人物，覆盖传媒创新、VC/PE、信息服务、金融科技、交易体系、战略新兴等方向。
科创板日报《科创家》是由《安安访谈录》出品的针对科创领域上市公司核心高管（包括但不限于董事长、创始人）的访谈节目，筚路蓝缕敲钟成，上下求索知路远。科创家们有哪些鲜为人知的传奇经历？公司上市前后，他们的心路历程有何变化？《科创家》与您一起探寻，以期远眺未来。
本期访谈人物：
芯源微董事长 宗润福
“从零发展到今天，定下了一个芯片企业的源头初心——这也是公司名字的由来，因而我们关注国家重大需求的大方向，不会随着企业的发展而轻易改变。”
▍个人介绍
芯源微董事长
▍第一标签
中国半导体设备的突围者
▍企业简介
芯源微（688037.SH）成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建，主要从事半导体涂胶显影、清洗等设备的研发、生产和销售业务，2019年12月顺利在科创板上市。芯源公司总部位于沈阳市浑南区，并在上海临港设有全资子公司。芯源公司连续承担国家02科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，连续两年被评为中国半导体行业十强企业。
东北三省作为“共和国长子”，在我国工业化起步的阶段，曾为独立完整工业体系及国民经济体系建设起到举足轻重的作用。随着国家经济体制改革并步入转型阶段，东北这个以资源型、重工业为特色的“龙兴之地”，锋芒一度似被长三角、珠三角等高新技术产业集聚区域遮蔽。
然而一个有趣的现象是，在近些年，应全国范围内数字经济、信息技术及制造业融合发展等的重大战略契机，东北“老工业基地”在半导体、生物医药、数字机械等领域陡然焕发生机，涌现出的东北新力量不仅与国际先进接轨，也成为国内产业链核心环节的重要组成部分。
特别是在半导体装备及零部件领域，先后涌现出一批优质的上市或准上市企业，一股以优秀企业为依托的半导体装备产业集群已蔚然成风。
今年6月，记者来到位于辽宁省沈阳市浑南区彩云路的沈阳芯源微电子设备股份有限公司进行调研，在采访中，这家国内半导体涂胶显影设备龙头企业的董事长宗润福跟我说，“公司赶上了好时候”。一方面沈阳当地政府过去为改善民营企业营商环境做出不少工作，支持企业创新；另一方面，科创板市场环境为硬科技公司提供了稳固人才与再融资的政策保障，引入了创新活水。
宗润福是记者到辽宁调研采访的第一人。哈工大毕业，没架子，满口东北话大实话，可讲起专业来，专业术语英文与数字换算滔滔不绝，逻辑清晰，双眼有神。他作为一位科学家，懂管理，会留人，业务骨干包括了清华学子以及新加坡海归。现场交流中易见，没有宗润福的个人性格韧劲，没有芯源微今天，也没有东北沈阳芯片走向全国，进而走向科创板的今天。
在当天采访调研完成后，宗润福后面还有几个会议在公司新厂区会议室后排着，他专程陪记者至楼下合影。这位科技行业硬汉头脑里好像编好了程序，不会错过任何细节。
“能在东北成长起来这么多有技术底蕴、业务扎实规范，并且向国际先进厂商供货，有国际视野的高精尖半导体装备企业，可以说是有些‘奇葩’”。芯源微董事长宗润福如此笑言外界对东北企业的固有认知。“背后原因，对芯源微来说，企业从创立到如今发展壮大，过程当中离不开辽宁省、市、区三级政府的大力支持。”
宗润福向记者感慨道：“比如公司此处的建设用地，2019年底上市后，次年3月份批地，7月份就开始动工，充分体现出沈阳当地政府为改善民营企业营商环境以及提高办事效率做出的努力。”
“当然，技术能力、市场化表现、业务体量等，依然是政府看重企业的重要因素和配给资源的衡量指标，”宗润福说道，“对芯源微来说，2008年前后是发展的重要拐点，公司抓住国家重大专项机遇，开始实现小尺寸设备的供货；到2014年营收规模就已经突破1亿元”。
之后，正如外界看到的企业成长节奏，随着2015年拿到两次重要股权或战略融资，芯源微步入增长快车道，与国家芯片半导体产业发展进入更深层次的同频共振。
2019年12月16日，芯源微在科创板上市，首日收报64.50元/股，大涨139.15%。其后公司股价走势经历震荡下行后，于2021年5月上旬开始一路高歌，上涨至最高302.35元/股，较发行价翻10倍，一时间风头无量。
公司最新财报数据显示，今年上半年芯源微实现营收5.04亿元，同比增长43.70%；归母净利润6940.67万元，同比增长97.91%。单季度来看，芯源微2022Q2营收3.21亿元，较去年同期增长34.97%，创下公司历史单季度营收最高纪录。截至目前，芯源微总市值已突破二百亿元。
01
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聚焦发展主业初心 本土化市场大有可为
芯源微自创立之时起，最为人津津乐道的是其浓厚的中科院基因。中科院作为国内顶级科研院所，承担了国家科研攻关、技术突破的重担。中科院团队创业，在先进产业的布局方面，“好钢究竟用在了什么样的刀刃上”，芯源微由此被寄予期待。
2002年，中科院沈阳自动化研究所作为主要股东发起创立了芯源微。在历经数次股权变迁后，目前中科院沈自所直接持有芯源微12.44%的股权。
宗润福1988年至2002年在中科院沈自所工作14年，期间担任过自动化研究所科技处处长、室主任，于2002年起作为创始人在芯源微任职至今。
在提到公司身上的中科院烙印时，宗润福引用了中科院前院长路甬祥的话：“中科院有两个轮子，一个是国家重大需求和基础科学研究，另一个则是面向国民经济主战场。”
在公司成立前夕，沈阳市浑南区围绕先进制造领域，规划了半导体、人工智能、机器人、传感器、先进制造等5大方向。依托于中科院沈自所的自动化技术基础，芯源微在沈阳浑南区发起成立，但宗润福回忆，实质公司前期在半导体技术方面并没有基础，“相当于零起步”。“从零发展到今天，定下了一个芯片企业的源头初心——这也是公司名字的由来，因而我们关注国家重大需求的大方向，不会随着企业的发展而轻易改变”。
面对市场的诸多期待，如何回归芯片事业源头初心？宗润福告诉《科创板日报》记者，一方面他会坚定相信公司所做事业的价值。
“当前芯源微在国内前道涂胶显影市场的市占率还不到5%，说明我们跟国际水平仍有差距，同时也意味着天花板很高。我们在传统优势领域——圆片级封装、化合物半导体、LED芯片制造等领域，已经跟国际先进水平实现并跑，但资本市场更关注我们未来在高端产品和前道大生产线的应用”。
另一方面，“聚焦主业和主产品将会是公司发展的主旋律”。宗润福介绍，企业上市之后融资能力变强，视野更加开阔，面对的外部诱惑确实很多。“如果这山望到那山高，光看到别的市场或做别的产品可以过的‘滋润’，行业内很难做到第一。”另外，“对于芯源微所做的非标化产品领域，标准的制定关系到市场份额的分配，这一点上我们更希望专注自身，做‘吃肉’、‘喝汤’的那家企业。”
02
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新兴技术引领 后道涂胶显影市场规模成倍增长
半导体设备与制造、封测环节联系紧密，对应分为前道设备和后道设备，在高端领域处于国外企业“一家独大”的状态，是亟待本土化突破的重点领域。
从芯源微成立至今的历程来看，公司发展的主线是从后道先进封装环节、LED领域切入，拓展至MEMS、化合物等领域，并进一步向前道晶圆制造领域延伸。
关于后道优势业务领域，此前VLSI行业数据显示，其全球市场规模预计道2023年将增长至1.08亿美元。不过宗润福强调，这一市场空间的估算现在看来太过保守。
“当前全球先进封装的重地首先是在中国台湾地区，其次中国大陆也在蓬勃发展。技术进步、工艺提升，先进封装所需的光刻次数越来越多，对光刻机、涂胶显影机以及湿法设备的需求也会越多。”
宗润福介绍，2021年仅芯源微一家公司在大陆市场，后道圆片级封装、化合物半导体签单量就已经超过1亿美元，远超美国VLSI调研机构的预测，“我认为现在市场规模较此前的预估至少可以放大三倍。”
“未来后道市场工艺正在不断升级进步，比如由圆片级封装到三维封装、减薄、特殊晶圆衬底传送以及第三代半导体等工艺升级，对设备来说提出各种各样的要求，未来能够适应客户需求，对我们来说就是一种竞争力的提升，同时也意味着市场空间的扩增。”宗润福表示，芯源微当前发力前道芯片制造领域大设备突破，现在的优势是可以把前道的一些工艺技术和软件，如堆叠式架构以及工厂自动化监测软件等，移植应用到圆片封装领域。
03
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前道涂胶显影空间广阔 KrF及以下节点国内覆盖率可至60%
按照工序、功用的不同分类，半导体前道设备中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积机合计资本投资占比约60%，市场价值方面的“含金量”更高；不过涂胶显影机、离子注入机、化学物理抛光机、清洗机等作为“小而美”赛道，市场绝对空间不小，亦是全球半导体先进生产制造国欲争夺的战略要地。
从我国半导体设备的本土化进展情况来看，多环节已现龙头企业引领的格局。芯源微是国内唯一一家可以提供中、高端涂胶显影机的设备商，并且新布局的清洗设备也已顺利导入市场。
相比外界此前对后道市场空间评估的保守，前道晶圆制造领域的价值更为明确。东方证券研报分析称，2021年全球前道涂胶显影设备市场规模约40亿美元。
2018年，芯源微出厂验证第一台前道涂胶显影机，标志着公司成功切入前道市场；2020-2021年，公司加速拓展前道产品，持续突破高端涂胶显影设备、清洗设备。
据最新发布的半年度财报，芯源微上半年前道offline、I-line批量销售并获重复订单，而此前宣布通过客户ATP验收的前道KrF涂胶显影机，最新信息显示也在今年上半年实现批量销售，并获得多家头部晶圆厂的小批量重复订单，整体前道涂胶显影机新签订单规模同比大幅增长。
晶圆制造与封装测试均需涂胶显影设备，在关键尺寸及精度方面有所区别，一定程度上也决定了国产半导体设备企业成长路径保持从后至前、由易及难的节奏。
宗润福介绍，产业领域内光刻机设备的稀缺，也是造成其他环节发展相对滞缓的原因。
“光刻机是整个芯片生产线最昂贵的设备，一般来说客户端购买光刻机后，一定是让它满产量产，对涂胶显影设备厂商来说很难获取光刻机进行联机验证；其次，联机验证阶段对设备可靠性和产品生产良率要求较高。”
“当前我们主要是在KrF节点的机台，在客户端的验证应用和量产最为成熟。”宗润福表示，若I-line、 KrF机台能够在客户端实现稳定量产，先进制程领域能够覆盖的市场范围约在50%，“不过由于国内现在功率器件制造需求很火，预计市场覆盖可进一步提升至60%”。今后公司前道涂胶显影机会沿着KrF、ArF技术路线，继续攻克新的技术节点。
04
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前道清洗设备率先爆发 销售规模优势显现
在前道市场，相对涂胶显影设备，芯源微前道物理清洗机设备的研发与市场导入走得更为靠前，目前已形成公司主要收入来源，多家券商机构直言其为芯源微“第二增长曲线“。
2020年，公司前道物理清洗机在国内多个重点客户处通过验证；2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。
清洗步骤数量约占芯片制造工序步骤的30%以上，为第一大工序。据SEMI今年6月的统计数据粗略计算，2021年全球半导体前道清洗设备市场规模已超过50亿美元。
宗润福介绍，公司切入清洗设备领域的原因主要在于清洗机和涂胶显影机有共同的机电平台，比如机械手传送调度、离心机高速旋转、喷洒等，是显影特有的工艺。“显影的单片刻蚀、去胶，实际上与清洗工艺的过程是一样的，所以公司在涂胶显影机电平台的基础上，开发了清洗设备。国际大厂DNS、东京电子同样如此，既做涂胶显影机，也做清洗机。”
在清洗机的分类方面，首先分为槽式清洗和单片清洗，其次单片清洗又分为物理清洗和化学清洗，其中当前化学清洗占主流，市场占比超80%，物理清洗不到20%。芯源微目前清洗设备均为单片物理式清洗机，单片式化学清洗机也在研发中。
“公司当前已经批量销售的物理清洗机，早在2017年就投入开发了。宗润福表示，公司Spin Scrubber清洗设备在28纳米及以上产线批量应用的清洗设备中，数量大于国内其他厂家销售台数之和，目前已成为国内各大Fab厂Baseline首选产品。”
05
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科创板股权激励与再融资 为企业引入创新活水
2019年底在科创板上市后，芯源微融资能力增强，同时实施了积极的股权激励。宗润福感慨，公司“生逢其时”，抓住了半导体产业发展机遇，也赶上了科创板的大市场。
“公司在科创板的第一个收益就是股权激励。近几年半导体市场火热，核心技术人才价值也受到重视，我们实施的股权激励共覆盖139人次，使员工收入加倍，在沈阳当地形成了人才吸纳与汇集的优势，极大稳定了我们的团队。”
“其次，科创板再融资政策也为公司技术与市场的持续扩张提供了保障”。
今年6月，芯源微发布2021年定增报告书，宣布引入易方达基金、中信证券、华泰资管、JP Morgan等知名投资机构，增发10亿元用来推进 ArF 光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备的研发和产业化。这是科创板首个真正意义上的溢价发行，最终发行价124.29元/股，是前20个交易日均价的105.4%。
随着近日定增项目前期申报、引资落地，芯源微上海临港子公司建设正如火如荼展开。宗润福将上海临港视为公司未来发展的桥头堡，希望能够借此更加靠近人才、客户、供应链，达成公司更长远的发展目标：
“希望公司能加速实现前道涂胶显影机和单片清洗机的本土化进程，同时保持在先进封装及小尺寸成熟产品的领先地位，未来3-5年营收保持持续增长；在更长远的未来成长为一个世界级企业，有一定的营收规模、自主创新的能力和全球化销售的布局。”
右为芯源微董事长宗润福
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访谈人物录：
（按首字拼音排序，排名不分先后）
宠物经济：
佩蒂股份董事长：陈振标（“宠物食品”第一股掌门人）
储能设备：
南都电源董事长：朱保义（储能全场景应用的构建者）
传媒创新：
《科创板日报》主编：徐杰（一级市场及科创板权威报道和服务平台）
动力电池：
蜂巢能源董事长：杨红新（动力电池行业勇闯者）
协鑫能科总裁：费智（移动数字能源科技的先行者）
高端装备：
天宜上佳董事长：吴佩芳（轨交耗材龙头“掌门人”）
工业软件：
群核科技联合创始人兼董事长：黄晓煌（3D云设计SaaS引领者）
赛美特董事长兼CEO：李钢江（国产工业软件领域的推动者和践行者）
光伏电力电子设备：
昱能科技董事长：凌志敏（美国硅谷技术背景，国内微型逆变器先行人）
集成电路：
黑芝麻智能CMO：杨宇欣（自动驾驶芯片行业创业“老炮”）
沐曦联合创始人、CTO兼首席软件架构师：杨建（高性能国产GPU的开拓者）
睿控创合创始人、总经理：张平（关键领域国产嵌入式系统推动者）
芯擎科技董事兼CEO：汪凯博士（国产车规级芯片研发带头人）
芯源微董事长：宗润福（大数据分析和人工智能技术专家）
英特尔大数据技术全球首席技术官：戴金权（大数据分析和人工智能技术专家）
景观设计：
奥雅股份联合创始人&董事总裁：李方悦 (数字科技与文旅融合的先行者）
LED电子设备：
木林森创始人：孙清焕 (LED封装及应用产品供应商）
农业养殖：
神农集团董事长：何祖训 (健康安全生猪产能理念践行者）
券商机构：
安信证券副总裁：魏峰（券商O2O财富管理“探路人”）
德邦证券副总裁：顾勇（从保险到券商的跨界先锋）
富途董事总经理、国际化战略及财富管理负责人：曾煜超（科技券商依托互联网开拓财富管理业务的探索者）
光大证券业务总监：梁纯良（兼有一线经验和全局思维的券业财富设计师）
华林证券CEO：赵卫星（首批成功试水数字金融的跨界领路人）
华泰金控董事总经理兼张乐通全球负责人：朱亚莉（中资券商APP国际化探索者）
华西证券董事长：鲁剑雄（深耕金融数十年的跨界券业掌舵人）
国海证券副总裁：蒋健（深耕券商财富管理的马拉松跑者）
国泰君安证券私人客户部总经理：张谦（财富管理行业的奋楫者）
国信证券副总裁：谌传立（深化资本市场注册制改革的践行者）
华福证券首席信息官、零售业务条线事业部总裁：王俊兴（精通金融与IT的券业先锋）
瑞银证券财富管理主管：高慧（瑞士财富管理“百年老店”的中国女高管）
申万宏源证券固定收益融资总部总经理：范为（宏观经济与资本市场资深专家）
天风国际董事长：王勇（最懂风险管理的中资券商出海掌舵手）
湘财证券副总裁：周乐峰（从证券一线强势崛起的初生代大V）
兴业证券数智金融部副总经理：郑可栋（财富管理的践行者）
招商证券总裁助理、投资银行委员会主任委员：王治鉴（亲历创业板注册制改革的投资银行家）
中金公司投资银行部负责人：王曙光（见证与建言资本市场改革发展的资深投行家）
中信建投证券执委委员、投资银行业务管理委员会主任：刘乃生（制度建设的投行亲历者、建言者）
评级机构：
东方金诚董事长：崔磊（资管、银行、信评等多领域资深专家）
中诚信国际董事长：闫衍（头部评级机构的管理者人）
权威专家、研究学者：
国家信息中心预测部产业室主任：魏琪嘉（国家发改委系统、产业经济领域专家）
民盟中央经济委副主任：冯奎（曾任国家发改委研究员，城镇化议题专家）
中国宏观经济研究院对外经济研究所研究员：杨长湧（国家发改委系统、宏观经济领域外贸专家）
中国宏观经济研究院决策咨询部研究员：盛朝迅（国家发改委系统、产业经济领域专家）
汽车零配件：
森麒麟总经理：林文龙（轮胎新势力领军人物）
企业服务：
八爪鱼&云听CEM创始人：刘宝强（国内首个客户体验管理SaaS平台开创者）
神策数据创始人：桑文锋（数据闭环方法论SDAF的提出者）
科沃斯蒲公英加速器CEO：陈亮（中国科技优质项目投资蓄水池建设者）
酷克数据联合创始人：简丽荣（云原生数据库“从无到有”的推动者）
数说故事创始人&CEO：徐亚波（行业领先的大数据AI独角兽企业“掌门人”）
数位大数据创始人兼CEO：黄兴丽（国内最大全域全场景大数据库建设者）
顺网科技董事长：邢春华（泛娱乐产业数字化的推动者）
威尔森创始人&CEO：梁维新（行业领先的汽车数据信息综合应用平台“掌舵人”）
人工智能：
达观数据董事长：陈运文（文本数据智能化处理研究与工程专家）
复亚智能CEO：曹亚兵（无人机全自动飞行系统领域的先行者和推动者）
云从科技联合创始人、战略规划部负责人：姚志强（人机协同操作系统的先行者）
数字安全及测试测量：
东方中科董事长：王戈（中科院技术资本领军人物）
碳中和：
天津排放权交易所总经理：李天（中国负碳平台的先行者）
氢交所最早发起人：林辉（氢能源交易平台探路者）
投资机构：
鼎心资本创始合伙人：胡慧（聚焦半导体产业链的VC投资人）
鼎兴量子创始人：金宇航（成都新能源与新材料ToB领域资深投资人）
东方引擎合伙人、副总经理：李慧鹏（连续多年保持优秀投资业绩的债券金牛基金经理）
复星创富联席董事长：徐欣（产业背景深厚的科技投资人）
合晟资产创始人、董事长：胡远川（拥有丰富实战经验的股债投资专家）
基石资本合伙人：杨胜君(产业背景深厚的硬科技投资人)
汉理资本董事长：钱学锋（资深天使投资人、A轮学堂创办人）
活水资本创始合伙人：许乐家（东南亚创投圈探索者）
加华资本创始合伙人：宋向前（消费服务行业冠军的“超级陪练”）
朗盛投资合伙人：李佳（科研出身，服务过百家生物医疗企业的早期投资人）
梅花创投创始合伙人：吴世春（最懂创业者"的天使投资人）
唐兴资本创始人：宫蒲玲（硬科技赛道“有温度的资本”发起人）
元起资本创始管理合伙人：何文俊（数字世界的安全守卫者）
中欧资本董事长：张俊（华为前副总裁、硬科技战略投资者）
VR/AR/元宇宙：
Nreal 创始人、CEO：徐驰（中科院技术资本领军人物）
文化旅游：
复星旅文董事长：钱建农（休闲度假生活方式引领者）
新能源：
晶科能源董事长：李仙德（光伏产业海内外垂直一体化布局的领航者）
新汽车：
岚图汽车创始人：卢放（坚定而充满汽车情节的“长期主义者”）
零跑汽车创始人：朱江明（汽车界的“超级工程师”）
哪吒汽车联合创始人兼CEO：张勇（打造高品质智能电动车的产品经理）
信托机构：
平安信托运营中心总监：龙健（平安信托，信托业科技实力的标杆）
云南信托总裁：舒广（云南信托，信托转型战略践行的先行者）
新消费：
魔筷科技创始人：王玉林（直播电商供应链服务商)
行云集团创始人：王维（全球D2C供应链）
新一代信息技术：
洞见科技创始人、董事长：姚明（数据价值安全释放的推动者）
华天软件董事长：杨超英（国内首套机械CAD创立者，工业软件领域领跑人）
山石网科董事长：罗东平（网络安全领域早期海归工程师、科创板公司创始人）
医疗健康：
佰仁医疗董事长：金磊（国产心脏瓣膜介入治疗新时代的开创者）
贝瑞基因董事长：高扬（中国基因测序开拓者）
春雨医生CEO：王羽潇（互联网医疗在线问诊模式探路者）
东方生物创始人：方效良（体外诊断领域全产业链布局的开拓者)
复锐医疗董事长：刘毅（中国能量源医美器械头把交椅的掌舵人）
和元生物董事长：潘讴东（基因治疗CDMO“独角兽”企业的掌门人）
华大基因CEO：赵立见（中国基因行业龙头企业的领军者）
曼朗医疗CEO：唐德凯（高端私营精神心理医疗机构践行者）
燃石医学创始人兼首席执行官：汉雨生（中国肿瘤精准医疗引领者）
天鹜科技创始人：洪亮（AI新药开发领航者）
通策医疗董事长：吕建明（连锁口腔医院数字化的先行者）
望石智慧CEO：周杰龙（AI创新药研发新范式的探路者）
未知君联合创始人兼CEO：谭验（AI+BT微生态制药闭环探路人）
沃比医疗CEO：安穆克（Michael Alper）（神经介入领域出海的先行者）
星药科技创始人&CEO：李成涛（人工智能+药物研发领域的顶尖学者）
星奕昂创始人：王立群（国内细胞治疗领域的早期开拓人）
中科新进创始人兼董事长：任培根（多肽药物赛道的科学家创业者）
银行理财：
汇华理财资产配置总监：马少章（汇华理财，中长期稳健投资老将）
光大理财总经理：潘东（光大理财，银行理财业务的创新者）
华夏理财总裁：苑志宏（华夏理财，客户至上、绝对收益的坚守者）
农银理财董事长：马曙光（农银理财，提供最佳客户体验的践行者）
平安理财固定收益投资部负责人：熊珣（平安理财，银行理财领域多资产多策略配置领跑者）
影视文化：
华策影视总裁：傅斌星（新时代文化产业生力军）
自动驾驶：
纵目科技CEO：唐锐（自动驾驶与高级驾驶辅助系统（ADAS）领域的14年研发管理老兵）
宏景智驾创始人兼CEO：刘飞龙（自动驾驶大潮中的探索者）
