【微导纳米：首台百兆瓦钙钛矿ALD设备顺利出货】《科创板日报》6日讯，微导纳米日前宣布，近日公司自主研发的首台大面积百兆瓦钙钛矿电池生产专用量产型原子层沉积（ALD）设备发货至行业头部客户，实现在大面积玻璃基底钙钛矿的技术应用，标志着该类型钙钛矿电池技术专用ALD设备正式进入产业化验证阶段。