【东方晶源宣布新一代半导体电子光学系统成功上“机”】《科创板日报》21日讯，东方晶源宣布其自主研发的新一代电子光学系统（EOS）取得突破性成果，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），率先实现国产EOS在高端量测检测领域的应用。据介绍，EOS是电子束量测检测设备最为核心的模块，电子束量测检测设备深度参与芯片光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到重要作用。