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2024年10月21日 16:23:50
【广东:大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代】财联社10月21日电,广东省人民政府办公厅印发《广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案(2024—2030年)》。其中提到,推进光芯片关键装备研发制造。大力推动刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网络测试仪等光芯片关键装备研发和国产化替代。落实工业设备更新改造政策,加快光芯片关键设备更新升级。
广东争做“追光者” 剑指千亿级光芯片产业集群 大力支持研发光刻胶、刻蚀机等
半导体芯片
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