【中微公司尹志尧：未来5-10年目标覆盖50%-60%的集成电路关键设备】《科创板日报》22日讯，中微公司董事长、总经理尹志尧今日在业绩会上表示，该公司将继续坚持以高端半导体设备为核心，开发更多有竞争力的设备产品；同时积极考虑通过投资和并购，推动公司更快发展。“未来5-10年，中微公司将通过自主研发以及和合作伙伴一起努力，覆盖50%-60%的集成电路关键设备。”（记者 郭辉）