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2025年03月05日 07:05:20
【ASML:3D整合将成为2D收缩日益重要的补充技术】《科创板日报》5日讯,在阿斯麦(ASML)今日发布的2024年度报告中,首席执行官克里斯托弗·福凯(Christophe Fouquet)表示:“如果我展望ASML的未来增长,光刻技术无疑仍然是摩尔定律的主要驱动力之一,我们相信这一点在未来许多年里依然成立。与此同时,正如我们几年前就意识到的,二维收缩(2D shrink)正变得越来越困难。这并不完全是由于光刻技术的局限性,而是因为我们几乎达到了逻辑和存储器客户所使用的晶体管的极限。为了继续在二维收缩方面取得进展,我们需要在架构和器件上进行创新。这意味着需要进行三维前道整合(3D front-end integration),而这将为我们带来增长机会——因为三维整合技术依赖于键合(Bonding),而这又需要一体化光刻技术(holistic lithography)。我认为,三维整合将成为二维收缩日益重要的补充技术或技术组合。”
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